杨英
,
董瑜亮
,
高立军
,
宫骏
,
姜辛
,
孙超
中国腐蚀与防护学报
利用电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti基材上低温沉积Ti-Al-N涂层，研究氮气流量及热处理工艺对涂层微观组织结构的影响。结果表明，沉积态涂层中不含三元层状陶瓷Ti2AlN MAX相，可能含有Ti3AlN（反钙钛矿结构）、TiN、α-Ti、fcc-Al及TixAly金属间化合物等。涂层经退火后在一定条件下可以形成Ti2AlN。涂层中的N元素含量及退火温度对Ti2AlN的形成起到重要作用。N元素含量过多不利于Ti2AlN的形成；提高退火温度可以促进Ti2AlN的形成。透射电镜（TEM）分析结果表明，退火过程中Ti2AlN的形成伴随着涂层微观组织结构的转变，从明显的层状结构转变为细小的等轴晶结构。
关键词:
电弧离子镀
,
Ti-Al-N coatings
,
Ti2AlN
,
MAX phase
,
microstructure
